無油真空泵是一種無需任何油作潤滑就能運轉工作的機械真空泵。它具有操作容易、維護方便、結構簡單、不會污染環境等優點，無油真空泵耐用性好，是壓縮，抽真空，兩用真空泵，是一種應用范圍非常廣泛獲得真空的基本設備。

　　無油真空泵跟個別容積泵雷同，由定子、缸體、旋片、轉子、電機等重要整機組成。帶有旋片的轉子，偏心腸安裝在定缸內，當轉子高速旋轉時，轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，因為離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分別開來，周而復始運行，進行變容，將吸入氣體，從排氣口排出，從而到達抽氣目標，替換了旋片式真空泵需要耗真空油才干使用的短處。

　　在選購無油真空泵時要先確定要求工作的真空度，否則達不到抽真空的要求，就會達不到工作要求。其次是無油真空泵抽氣速率，選型時就要稍大于所需求的抽氣速率，如果需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，這樣就能更好的滿足需要。后看抽取的氣體有無腐蝕性，有腐蝕的氣體會腐蝕泵，必須要用特殊的材質才能滿足需求。

　　由無油真空泵的定義得知，為滿足良好的環境，其抽氣腔是無油的。但機械傳動部分還需油類潤滑，例如多級無油真空泵和螺桿型干式泵等。其傳動齒輪的軸承都需要潤滑。利用迷宮式密封結構，去隔離泵腔和齒輪箱等部位，比較簡單的方法是在泵腔和需要潤滑的部位之間充入干燥的惰性氣體，或安裝密封圈。

　　一定要有良好的防返流措施才行，大部分無油真空泵在低壓下使用，而迷宮式結構能防止潤滑油進入泵腔，但有可能使氣體通過，因為齒輪箱中的氣體壓力不受限制，如果齒輪箱內的氣體壓力大于泵腔內的壓力，有壓力梯度存在就會出現齒輪箱內油蒸汽向泵腔內的擴散。因此對無油真空泵的結構設計要好好考慮，將齒輪箱中的油池面上，進行減壓預抽，控制齒輪箱中的氣體壓力，并通過唇形密封圈，將油池與泵腔隔離，避免污染被抽氣體。

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